概述

晶圓強磁場退火熱處理裝備可以將被測樣品同時置于強磁場、高真空、高溫、氣氛環(huán)境中，同時也可以單獨或任意組合這三種實驗環(huán)境，滿足不同樣品在不同環(huán)境下的測試要求。

適應(yīng)范圍：高溫、高真空、強磁場環(huán)境中加熱或去磁的各種磁性材料。

設(shè)備原理

北京錦正茂科技有限公司生產(chǎn)的高溫真空磁場加熱爐系統(tǒng)，是有升溫高溫爐，高溫爐加熱電源，Labview控制軟件（選配），超導(dǎo)磁體，高精度電源，分子泵組，水冷機組共同組成的一套反饋調(diào)節(jié)的加熱系統(tǒng)。

該高溫磁場加熱爐系統(tǒng)是由分子泵組中的機械泵（干泵）先對真空腔體（樣品腔）進行粗抽，達(dá)到可以開啟分子泵的極限真空時，在開啟分子泵進行高真空的抽取，達(dá)到客戶所需的真空度。打開軟件，通過在軟件中輸入需要的磁場值和溫度值，通過閉循環(huán)反饋調(diào)節(jié)，使設(shè)備內(nèi)樣品的溫度自動控制并穩(wěn)定在某一個溫度值，軟件可以按照用戶給定的實驗條件完成實驗。

磁場控制：用戶可以直接通過軟件設(shè)定所需要的磁場大小，由高精度高斯計讀取實際磁場值，再將實際讀出的磁場值反饋給高精度恒流電源，通過電源內(nèi)部軟件處理后，直接由控制高精度恒流電源的輸出電流，從而實現(xiàn)用戶所需要的磁場，并實時顯示在軟件上；

溫度控制：通過在軟件上人機交互界面直接設(shè)置所需要的溫度值，計算機軟件處理后指令到達(dá)高溫爐加熱控制器?？刂破魍ㄟ^溫度傳感器（熱電偶）讀出樣品區(qū)的實際溫度值，并通過其內(nèi)部設(shè)置的模糊控制PID調(diào)節(jié)輸出電流的大小，總而使溫度值穩(wěn)定在某一精度范圍內(nèi)。從而實現(xiàn)用戶所需要的不同溫度；

真空環(huán)境：通過分子泵組獲得真空環(huán)境，由高真空全量程真空計顯示并監(jiān)控，并實時的將檢測結(jié)果傳遞給計算機。

退火過程：在強磁場（或無磁）環(huán)境下對樣品進行加熱，加熱到一定溫度（用戶需要自己設(shè)定）并保持在該溫度，再持續(xù)加一個磁場（可隨時變化），達(dá)到用戶的目的后，關(guān)閉磁場，關(guān)閉加熱環(huán)境，冷卻到室溫。