晶圓強磁場退火熱處理裝備可以將被測樣品同時置于強磁場、高真空、高溫、氣氛環(huán)境中，同時也可以單獨或任意組合這三種實驗環(huán)境，滿足不同樣品在不同環(huán)境下的測試要求。

適應范圍：高溫、高真空、強磁場環(huán)境中加熱或去磁的各種磁性材料。

性能指標參數(shù)

磁體軸線上，縱向磁場分布詳見附件電磁設計數(shù)據(jù)

磁體均勻區(qū)縱向磁場均勻度小于0.1%

溫孔軸心和磁場軸心偏差（包括平移和傾斜）小于0.2mm

勵磁電流小于120A，軸心磁場達到12T

常溫到超導工作時間應小于48小時。

安*保護

高溫報警：設備發(fā)出警報后自動切斷輸出，實現(xiàn)設備保護。

失超報警：設備失超后自動保護。

缺相報警：設備缺相后發(fā)出錯誤指示，直至恢復正常。

真空度警報：實現(xiàn)真空度非正常狀態(tài)報警